학위논문목록

기판의 Ar 플라즈마 표면 처리를 통한 Ru 박막의 물성 개선

작성자
해동학술정보실
작성일
2008-09-11
조회
377
지도교수 : 김재정
졸업년도 : 2003
구분기호 : S001
저자 : 최리라
학번 : 99448-149

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